1）所需设备：CCZK-900ION-T系列多弧离子工具镀膜机

2）获得膜层：TiN（氮化钛），AlN（氮化铝），CrN（氮化铬），TiC（碳化钛），TiAlN（氮化铝钛）等

3）涂装流程：工具产品的前处理（超声波清洗或表面一定程度的抛光）----烘箱烘干----真空离子镀膜（2H-12H）---- 冷却---出炉---成品包装

4)基本配置：

腔体结构：D900mm*H1100mm，立式前开门

腔体材质：304不锈钢材质

烘烤系统：铠装加热550℃ PID温控

冷却系统：不锈钢水冷套装

多弧电源：200A  10套

多弧靶材：钛靶或不锈钢靶  10套

偏压电源：20KW  1套

Bias power:20kw 1set

气体控制：4路气体流量控制系统

泵抽系统：1台分子泵+1台罗茨泵+1台直联泵（德国莱宝）

智能控制：PLC+台湾研华工业计算机+HMI智能人机界面控制+报警系统

安装服务：免费提供客户现场的安装调试服务

保修服务：免费提供12个月的保修服务

培训服务：免费提供客户操作人员的基本培训服务

5）需求配套设施：

空压机+储气罐+水泵+水冷设备+超声波清洗机

水压流速：0.2Mpa  3m3/h

气    压：0.4-0.8mpa

水    温：小于25℃