CCZK-OGS光学电子枪镀膜设备

腔体结构:  立式前开门，卧式前开门，后置真空获得系统

材质用料：腔体均采用优质不锈钢锻造

制膜种类:光学多层膜，光学增透膜、减反射膜（AR）、单点增透、截止滤光片、七彩装饰功能膜等

转动系统: 变频调速，配备光学镀膜伞和行星式工件转架

电子束蒸发器: 配备大功率E型电子枪

辅助镀膜: 可配备霍尔离子源或 高压离子轰击电源以提高附着力、膜层密度、稳定折射率

加热系统:铠装加热管加热方式，350℃温控PID控制。

真空系统:扩散泵（可选分子泵）+罗茨泵+机械泵+维持泵+深冷系统（可选）

气体控制: 采用多路气体流量控制仪

膜层监测: 配置采用美国INFICON产石英晶振膜厚仪，可实现膜层参数的储存与自动调用

智能控制: PLC智能控制+HMI全彩人机触控界面，实现逻辑全自动控制

报警及保护:异常情况进行报警，并执行相应保护措施。

其他技术参数：

极限真空： 5.0×10-4Pa

抽气速率： 5.0*10-2≤5min

水压流速≥0.2Mpa 3m3/h；水温≤25℃；气压：0.4-0.8Mpa；

备注:

一般规格: Φ1350*H1350，Φ1600mm*H1500mm,Φ2050mm*H1500mm，

真空室尺寸或设备配置可按客户产品及特殊工艺要求订做