CCZK-SF磁控溅射镀膜设备

特征描述:

    驰诚CCZK-SF磁控溅射镀膜机,具备成膜速率高,基片温度低,膜的粘附性好,可实现大面积镀膜

    相对于传统蒸发镀膜设备,驰诚磁控溅射镀膜可获得更为优秀的膜层致密性,均匀性和结合力

    采用最为先进的直流或中频磁控溅射电源,满足不同层次客户需求

    先进的高速低温溅射技术,极大的扩展了驰诚CCZK-SF磁控设备的应用范围,对无法受热或耐热力产品提供优质的溅射镀膜解决方案

    采用驰诚创新工艺制造,精益求精,全面通过欧盟CE和ISO国际质量管理体系认证;

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技术配置

CCZK-SF磁控溅射镀膜设备

    腔体结构:  立式前开门,卧式前开门。

    材质用料:腔体材质为SUS304不锈钢或碳钢

    真空系统:  扩散泵(可选分子泵)+罗茨泵+机械泵+维持泵(另有深冷泵系统可供选择)

    溅射靶材:  中心圆柱靶,平面靶,孪生靶等

    磁控电源:  可配备直流或中频磁控溅射电源

    转动系统:  变频调速,公自转结合,可根据客户产品和要求设计

    膜层结构:  单层膜、多层膜

    气体控制:  气体流量控制仪集成触控操作控制

    人机界面: PLC智能控制+全彩HMI触摸屏

    操作方式: 逻辑全自动方式、半自动方式、手动方式

    智能控制: PLC智能控制+HMI全彩人机触控界面,实现全自动控制

    报警及保护:异常情况进行报警,并执行相应保护措施。

    其他技术参数:

    极限真空: 5.0×10-4Pa

    抽气速率: 5.0*10-2≤5min

    水压流速≥0.2Mpa 3m3/h;水温≤25℃;气压:0.4-0.8Mpa;

    备注:

    一般规格:

       Φ1000mm*H1200mm,Φ1400mm*H1600mm,Φ1200mm*H1500mm, 
       Φ1800mm*H2000mm, Φ2000mm*H2200mm

    真空室尺寸或设备配置可按客户产品及特殊工艺要求订做

样品图

 

应用

  • 适合镀制高级装饰膜,合金膜层等。先进的高速反应低温溅射技术,成就了其高速的薄膜生长能力和优秀的膜层均匀度致密性,广泛应用于塑料餐具,手机外壳、卫浴洁具、汽车轮毂,五金饰品及标牌等镀膜。亦可溅射塑料制品、陶瓷、马赛克、树脂、水晶玻璃制品等